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求购硅料回收与硅片回收采用的工具和流程 东莞硅片回收股份公司
发布时间:2015年01月14日
有 效 期:2015年07月16日
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(株洲繁华网站推广公司发布)关键词摘要:东莞硅料硅片回收 硅片回收 硅料回收 单晶硅回收 多晶硅回收。硅料回收与硅片回收工艺流程具体介绍如下:
切料:将单晶硅棒切成具有精确几何尺寸的薄硅料。此过程中产生的硅粉采用水淋,产生废水和硅渣。
退火:双工位热氧化炉经氮气吹扫后,用红外加热至300~500℃,硅料表面和氧气发生反应,使硅料表面形成二氧化硅保护层。
倒角:将退火的硅料进行修整成圆弧形,防止硅料边缘破裂及晶格缺陷产生,增加磊晶层及光阻层的平坦度。此过程中产生的硅粉采用水淋,产生废水和硅渣。(东莞硅片回收公司整理)
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